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CE事業部(クリーン化・環境事業)

よくある質問集

Q.
「Clean Unitとは何のことですか?」
A.
クリーンルームやクリーンブースに人間には見えない微粒子を排除するために清浄な空気を送りこむ装置です。皆さんの身近なところでいえば空気清浄機(一般家庭用)がクリーンユニットと同じ様な働きをします。
右の図面がクリーンユニットの構造です。ファンの入り口と出口にそれぞれフィルターが付いていて入り口のプレフィルターで大きな粒子出口のHEPAフィルターで微粒子を取り除きます。
クリーンユニット構造図
Q.
「クリーンルーム クリーンブースのクリーン度 基礎知識」
A.
クリーンルーム クリーンブース等のクリーン度は清浄度のレベルを等級分けしたものを言います。クラス1、クラス100と言った表現がよく使われていますがクリーン度を表す等級は、規格によって定められています。
クリーンルームのクリーン度は国際規格でもあるISO14644-1:1999があります。
しかし現在でも慣用的に広く使用されている規格としてはFED規格(FED-STD-209E)があります。
Q.
「クリーン度のISO規格はFED規格のどのクラス相当になりますか?」
A.
清浄度クラス比較は以下の様になります。
FEDのクラス1はISOのクラス3相当です。
同じくクラス10はISOクラス4相当
クラス100→ISOクラス5相当
クラス1,000→ISOクラス6相当
クラス10,000→ISOクラス7相当
クラス100,000→ISOクラス8相当
Q.
「身の回りで言うとクリーン度はどのくらいでしょうか?」
A.
一般的に通常の事務所(オフィス)の環境ではクリーン度100,000〜1,000,000程度と言われています。クリーン度100,000の埃の量は1cf(キュウビックフィート:1立方フィート)当たり、これは30.5cm×30.5cm×30.5cmの空間に0.5μ以上の埃が100,000個存在し、1m3に換算すると350万個の見えない埃があるのです。
Q.
「清浄度の目安」
A.
クリーンルーム クリーンブース の清浄度を決めるには目安として部屋の空気を何回入れ替えるかで決める方法があります。例えばクラス100,000としますと一時間当たり15〜25回の換気を必要としますので、クリーンルームの容積が仮に10立方mとすると一時間に必要な清浄な空気は150〜250立方mが必要となります。これは一例ですが使用する条件で多くなったり少なくなったりするわけです。
技術的なご相談は電子メール アドレス:clean@nissetsu.comへお気軽にお問い合わせください。(見積もりお問い合わせは無料です)
お急ぎの場合はTEL06-6767-0707 日設産業機器株式会社クリーン化プロジェクト担当までお電話ください。
Q.
「ほこりの計り方」
A.
ほこりの数を測定する機器にパーティクルカウンターがあります。暗い場所に光を投じた時に小さな埃が空気中に、たくさん浮かんでいるのが見えた事がありませんか?粒子からの光の散乱の強さを測り、粒子の大きさに比例した光強度を電気信号として取り出したのがパーティクルカウンターです。
Q.
「局所クリーンって何ですか?」
A.
局所クリーンには2つのパターンがありますが、一般環境から、クリーン環境にするには通常の環境から、重要な部分のみクリーン環境にします。(クリーン度1,000〜10,000にするのが一般的です。)例えば包装工程のみクリーン度をアップする方法をとります。2つ目はクリーンルーム内でさらにクリーンな個所をつくる方法です。目安としては1つ下のクリーン度にします(クリーン度10,000〜1,000またはクリーン度1,000〜100等です。)例えばクリーンルーム内の3つの工程の内、1工程のみクリーン度をあげる方法をとります。
局所クリーンを行う際、クリーンベンチ(小型)やクリーンユニットを使用しますがメリットとして前者は組立の必要が無いのに対して後者は自由な大きさを選定可能で安価デメリットは前者は定型の大きさになる、装置への取り付けに適さない。に対して後者は取り付ける際に土台を組み立てる必要がある。等が挙げられます。局所クリーンには日設産業機器株式会社のクリーンユニットNCU−400NR、NCU−400Nはクラス100にご使用いただけます。
Q.
「局所的にクリーン度を上げる仕組み」
A.
発生した埃に対し局所的にクリーン度を上げる仕組みとしては3つの方法があります。(1)発生した埃を、素早く外部に排気する方法 (2)外部の埃をなかに入れない (3)クリーンな空気を吹きかける
(1)クリーン度を上げたい作業空間を囲い込み、そのなかにフィルターを通した清浄な空気を送り込み、発生した埃を囲いの中から素早く外に追い出す方法で、クリーンブース等でよく用いられています。
(2)密閉された空間の場合に有効な方法で、外部の気圧より密閉空間内の気圧を高くする(陽圧にする)ことで、外部の埃を内部に侵入させないようにする方法です。あくまで目安ですが、10Pa(パスカル)以上の圧力差があれば埃は侵入できないと言われています。
(3)ライン上(又、机上作業中)にクリーンファンユニットでクリーンな空気を吹きかける方法。囲いがない分、簡単に取り付けが行えますが広範囲にクリーン領域を広げることは出来ません。
Q.
「エアーフィルタの捕集効率」
A.
エアーフィルタの捕集効率の測定には一般的に(1)重量法(2)比色法(3)光散乱法(4)計数法など4つの方法があります。
(1)重量法は租塵用フィルターの捕集率の測定に適しています。測定方法はテストダクト内にフィルタを設置し、定格風量下で一定量の試験粉体を供給します。さらにテストフィルタ下流に通過粉塵捕集用フィルタ(高性能フィルタ)を設置し給塵量に対する粉塵捕集フィルタの重量増加量の比によって捕集率を求めます。
(2)比色法は一般に大気塵程度の粒子の捕集に適している中性能フィルタの測定に用いられます。測定方法はテストフィルタの上流側と下流側で粉塵を等速吸引し、サンプリング装置にセットされた濾紙の光透過度をフォトメーターで測定し、その指示値より効率を算出します。
(4)<計数法1>フォトメーター法は超高性能エアフィルタ(HEPAフィルタ)の捕集効率の測定に用いられます。蒸留させたD.O.P(Di-Octyle Phtalate)を冷却し、0.3μmのD.O.P.エアロゾルをつくり、テストフィルタを通します。その上流・下流で各々エアロゾル濃度を光散乱相対濃度計(フォトメーター)によって測定sし捕集効率を求めます。
<計数法2>カウンター法はULPAフィルタ、HEPAフィルタなどの捕集効率の測定に用いられます。一般的な方法として光散乱式自動粒子計数機(パーティクルカウンター)で同一粒子のエアロゾルの数を上流側、下流側で各々計数し、捕集効率を測定します。
Q.
「クリーンブース用ファンフィルターユニット(FFU)の選定方法 」
A.
例)2000W×1500D×2100Hのブース容量をクラス10,000にしたい場合
クラス(清浄度) 換気回数(回/時)
100,000
10,000
1,000
100
25
40
70
150


クリーンブース容積の計算
2m×1.5m×2.1m=6.3m3
必要な処理風量の計算(クラス10,000の換気回数は上の表より40回/時より)
6.3m3×40回/時÷60分=4.2m3/min
下記ユニットの処理風量よりNCU-600N 1台を選定、計算上で出した台数、風量に多少の余裕を見て下さい。
形式         処理風量
NCU-600N    10m3/min
NCU-900N    15m3/min
NCU-1200N    20m3/min

Q.
「人から発生する塵の量はどれ位あるのでしょうか?」
A.
人が出す塵の量は服装や動作で変化する為限定はできませんが目安としては以下の様になると思います。
1)静止しているとき 100,000個/分(0.3μ以上)
2)頭、腕、手先を軽く動かす程度500,000個/分(0.3μ以上)
3)着席している状態で体、足先を軽く動かす程度1,000,000個/分(0.3μ以上)
以上のように人の動きが激しくなるに従って発塵量は増加して行きます。これも参考ですが体操の場合は15,000,000〜30,000,000個/分(0.3μ以上)でかなり幅が有るようです。
Q.
「タバコの煙はクリーンユニットで除去できますか?」
A.
タバコの煙
実際にクリーンユニットでテストを行いました。
使用した機種はNCU−400N
約1ヶ月間運転しました。
タバコの煙の粒子相成分は0.5ミクロン前後ですので
HEPAフィルターで0.3ミクロン以上99.99%除去(カタログ値)できます。
HEPAフィルターで除去する対象は粒子ですので
タバコ臭については専用のフルターが必要になります。
(ガス相成分はHEPAでは除去できませんので専用フィルターが必要です。)

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